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按冷却方式划分，有水冷型和风冷型。臭氧发生器工作时会产生大量的热能，需要冷却，否则臭氧会因高温而边产生边分解。水冷型发生器冷却效果好，工作稳定，臭氧无衰减，并能长时间连续工作，但结构复杂，成本稍高。风冷型冷却效果不够理想，臭氧衰减明显。总体性能稳定的臭氧发生器通常都是水冷式的。风冷一般只用于臭氧产量较小的中低档臭氧发生器。在选用发生器时，应尽量选用水冷型的。
发生器与放电管
臭氧系统的核心技术和设备是发生器中的放电管，直接影响设备的运行效率和可靠性。臭氧发生器采用微间隙介质阻挡放电设计，不仅大大提高了运行的效率，而且增加了系统连续运行的安全可靠性。设备的技术参数已经达到国际水平。
由于采用微间隙放电技术，使系统运行电压降低为6-8 kV，远低于玻璃管绝缘介质的耐压水平，有效地避免了介质击穿短路故障的发生，提高了运行可靠性。
臭氧发生器放电单元所采用的模块化设计方法，使设备的安装，检修和维护工作更加容易。在进气气源质量的条件下，臭氧发生器放电单元连续运行的免维护时间可以长达5年。
臭氧发生器是一种内热式气相反应器。因为空气等类似气体都是不好的导热体，电晕放电产生的热量会使气体温度升高。较高的温度会加速臭氧的逆反应，即臭氧被还原成氧气，从而降低臭氧产量。因此，冷下也是提高发生器效率的一项措施。由于水和油的吸热系数远大于空气，工业发生器一般采用水冷或油冷发生器。由于空气冷方便易行，这种形式常用于微型臭氧发生器。 对于采用水冷方式的发生器，应考虑冷却水的水质，防止冷却水结垢，以免影响臭氧发生器的散热效果，从而减少臭氧的输出，增加维护成本。因此，如果冷却水质量不好，需要增加板式冷却器。
