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嘉兴平湖长晶炉回收控制屏回收联系电话

更新时间:2024-07-03 00:51:36 [举报]
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并在副炉室3移取晶位的过程中,通过电动接晶托防止晶棒掉落,安全;当不再继续加料时,通过化料器升降驱动装置将外部化料器7提升不干涉主炉室坩埚21上升的位置,并通过化料器旋臂18的旋转旋开外部化料器7,进而方便拆炉和清理;本发明通过减震装置对下驱动装置进行减震,使拉晶时下驱动装置不受外界震动影响,进而保晶棒质量;本发明的升降丝杆91、旋转丝杆112和丝杠192的外侧分别套装有防尘罩,进而防止润滑油脂挥发污染原料。
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进一步为了防止在副炉室移动到取晶位的过程中,因晶棒掉落而出现事故,连续拉晶单晶炉还包括在副炉室移动到取晶位的过程中用于承接晶棒的电动接晶托,所述电动接晶托包括提升杆、用于承接晶棒的托板、电动推杆、接晶托电机和固定管,所述电动推杆连接在副炉室旋臂上,所述提升杆连接在电动推杆的推杆上,以便通过推杆的升降带动提升杆升降,所述接晶托电机连接在提升杆上,所述托板连接在接晶托电机的输出轴上,以便通过接晶托电机驱动托板旋转,所述固定管套装在提升杆和电动推杆的推杆的外侧,所述固定管连接在副炉室旋臂上。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,穿过所疼气流导向装置(20) 的中轴孔(2-1),该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2), 该炉的排气口 (13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通,气 流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16) 之间。3、 根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述气流 导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4、 根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉,其特征在于所述 气流导向装置(20 )的电极孔(2-2 )分别与该炉的电极柱(15 )密封连接。5、

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