电子器件制造:ECR等离子体源在半导体工业中,微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧,可以多个等离子体源组成等离子墙,或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
科学研究:微波等离子体源在等离子体物理学、材料科学和航空航天研究中都有应用。它们可用于研究等离子体行为、材料相互作用以及模拟太空环境。
Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物,例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质,提高处理效率,并减少对环境的影响
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