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为现有技术的切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的直拉式单晶生长 炉的剖面结构示意图2为图1中的输入管与环形气体分布器的结构示意图3为实施例1中直拉式单晶生长炉的气流导向装置的结构示意图4为图3的A-A剖面视图5为为图3的B-B剖面视图6为实施例1中直拉式单晶生长炉的剖面结构示意图7为实施例1中直拉式单晶生长炉的另一剖面结构示意图。蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，美国国外以美国KAYEX为代表，生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上，进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场，已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空－检漏－熔料－引晶－放肩－等径－收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好，直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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所述化料器升降驱动装置包括支撑杆191、丝杠192、电机193和连接块194，所述支撑杆191连接在化料器旋臂18上，所述丝杠192可旋转地支承在支撑杆191上，所述电机193连接在丝杠192上，所述连接块194通过螺纹连接在丝杠192上，所述外部化料器7连接在连接块194上，以便通过电机193驱动丝杠192旋转，进而将丝杠192的旋转运动转换为连接块194的直线运动，并通过所述连接块194带动外部化料器7升降。具体地，为了使得溶化后的硅料更好地进入主炉室坩埚21内，所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21之间还设置有用于导流溶化后的硅料的导流管20。
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