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比较截面形貌及其元素分布可以发现加入 H 2 后， 截面中 Ti 的含量更高。Ti 膜厚度相同， 而截面 Ti 含量的减少归因于 Ar 的轰击作用。 Ar 和 N 的原子质量分别是 40 和 14。 在 Ar 溅射不锈钢网， 也造成了 Fe、 Mn 等杂质元素在表面的污染加重。 因此， 轻元素对于提高表面质量更为理想。 此外采用 H 2后表面获得了 Fe 的氮化物而以 Ar 气氛则没有获得该类化合物， 这是因于H 2 具有很好的防止表面被氧化的作用， 这也能有效地减少炉内 不可避免的存在的 O 2 对于表面的污染。 而氢气对于不锈钢网的溅射作用则大大减弱， 这也能有效地减少 Fe 等合金元素在表面的沉积， 且氢原子或者离子轰击试样表面能够起到活化表面的作用， 这能够促进其他元素向基体的扩散。
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