超纯氮气(Ultra pure nitrogen gas)通常指的是纯度的氮气,其杂质含量远低于工业级和高纯级。检测这种气体的纯度时,会采用非常精密的分析方法,例如气相色谱法(Gas Chromatography, GC)、光谱分析(如红外光谱、质谱)、电子顺磁共振(Electron Paramagnetic Resonance, EPR)或原子吸收光谱(Atomic Absorption Spectroscopy, AAS)等。 对于超纯氮气,其检测范围可能包括以下指标:
纯度 :通常在99.999%(5个9)或更高,有时甚至达到9个9以上,即99.9999999%(9N),以ppm(parts per million)或ppb(parts per billion)表示杂质含量。
2. 气体组分 :除了N2外,可能还会检查痕量的气体如氧(O2)、氢(H2)、二氧化碳(CO2)、甲烷(CH4)、 (CO)以及痕量的稀有气体等。
3. 水分含量 :超纯氮气中水分含量极低,可能在几个ppb或者更低。
4. 压力和温度稳定性 :由于超纯氮气对环境条件敏感,可能还需要检测压力和温度波动对其纯度的影响。
5. 颗粒物 :对于某些应用,可能需要检查颗粒物和微粒污染。 具体的检测范围和要求会根据不同的行业应用(如半导体制造、实验室气体供应、 等)而有所不同。在执行检测时,会依据国际或行业标准,如ISO、AS 、ASME等制定的标准来确保氮气的质量。
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