为了防止X射线泄漏，高压发生器只有在射线防护系统正常的情况下才能启动。射线防护系统正常与否，主要检查以下二部分：
1、面板的位置是否正常。X射线荧光光谱仪是一个封闭系统，面板是外层的射线防护装置，如果有一块面板不到位，仪器就有射线泄漏的可能。因此，每块面板上都有位置接触传感器，面板没有完全合上，高压开不起来。
2、X射线的警示标志是否正常。国家标准规定X射线荧光光谱仪安装红色警告信号灯并与相应的开关联动，因此如果信号灯失灵，高压也开不起来。
有一种简单的方法可以判断高压不能启动是否是由射线防护系统引起，即将仪器的状态设定为维修状态，屏蔽射线防护系统，如果这时高压可以开起来，就可以确定故障是由射线防护系统的问题引起的。
将真空泵与光谱室和样品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在几秒钟内抽到规定值，可以排除真空泵出现故障的可能性。如果能抽到规定值但时间较长，可能是真空泵的效率降低，这种情况一般发生在经常分析压片样品和油品的仪器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改变了油的粘度，这时需更换真空泵油。
晶体是仪器内脆弱的部件，尽量不要用手接触衍射面，如果手或其他东西碰到了晶体的衍射面，就会污染晶体，手上的汗或其他物质渗到晶体的表面，使晶体表面的晶格间距发生变化，而X射线荧光的衍射主要发生在晶体的表面，因此造成2θ扫描的峰形不光滑。这种故障一时很难消除，一般清洗不干净。
高分辨率高度的检测方式让我国现今许多产品的检验拥有了更好的效果，而光谱仪器本身的分辨能力和精细的光谱辨析效果也为后续的测量质量带来了更好的品质，这种光谱仪装置其本身的检测效果要表现出稳定的质量，规避相应的影响因素才能够表现出更好的价值。
RoHS检测仪的工作流程
样品准备：将待检测的电子产品拆解成单个组件，并将每个组件进行清洁处理，以便准确检测。
检测过程：将准备好的样品放置在RoHS检测仪的检测台上，启动设备并收集荧光信号。
数据处理：RoHS检测仪将收集到的荧光信号进行处理，生成元素分析结果。
结果分析：根据RoHS标准，对样品中的有害元素进行判定，确定该产品是否符合环保要求。
RoHS检测仪的注意事项
样品处理：样品准备过程中需注意清洁，避免灰尘、油污等干扰检测结果。
操作规范：操作人员应经过培训，确保正确使用设备，避免因不当操作导致设备损坏或数据失真。
数据保存：检测结果应进行妥善保存，以便在产品出现问题时进行追溯和排查。
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