扫描电镜（Scanning Electron Microscopy，SEM）是一种高分辨率的电子显微镜技术，可用于对形貌和表面特征进行分析和观察。相比于传统的透射电镜，SEM不需要样本薄片，可以直接对样品进行观察，因此适用于分析各种形状和大小的样品。 SEM分析过程中，样品表面被电子束轰击后，会产生二次电子和背散射电子。这些电子会被探测器捕捉并转换为电信号，形成图像。SEM图像具有高分辨率和高对比度，可以显示出样品表面的微观结构和形貌特征
SEM+EDS测试原理：
SEM：利用阴极所发射的电子束经阳极加速，由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流，这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息，经过分别收集，放大就能从显示屏上得到各种相应的图像
EDS： 入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析。
SEM+EDS主要检测范围
1.表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测
2.微薄镀层厚度测量
3.表面失效分析（异色、腐蚀、损伤等检测）；
4.表面相分析、夹杂物鉴别等；
5.金属断口分析；
6.焊接或合成界面分析；
7.锡须观察
场扫描电镜对样品要求，如下：
1.样品要尽可能干燥，若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命；
2.热稳定性好，热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解，释放气体和其他物质，污染电镜；
3.导电性好，导电性差的样品会发生荷电效应，造成图像畸变，亮点亮线，像散等；
4.不含强磁性，强磁性的样品观察一般会出现严重的像散，无法消去，磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上，损害电镜
扫描电子显微镜（扫描电镜SEM）：一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
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