EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
故障分析：对于飞机或其他航空器出现的故障，SEM+EDS可以用于分析故障原因。例如，当飞机出现腐蚀、疲劳或机械损伤等问题时，SEM可以观察到这些缺陷的微观形貌，而EDS可以分析缺陷部位的元素组成。这有助于确定故障的源头和原因。
SEM和EDS可以用于表征生物材料，如生物陶瓷、生物复合材料等。通过观察材料的表面形貌和结构，以及分析材料中的元素组成，可以了解材料的生物相容性和生物活性。
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