划分清扫表面
无尘室内所有的接触面都有被污染的可能性，所以要规定清扫的频率。根据无尘室内生产的重要度对不同的接触面进行等级划分。清扫方法根据不同的清洁度等级要求进行。为达到不同等级的清洁度要求，对清扫方法进行文件性规定。
玻璃及玻璃产品的碎屑等大的废弃物被真空吸尘器去除。吸不到的地方可以在进行擦洗前进行明确标示。地面按照规定的流程使用湿式或者药液清扫方式。清扫期间，采用纯水或是药液时，为降低污染应该频繁换水。对于大面积的地面，除了按照规定流程作业外，为方便管理将地面划分不同区域进行清扫。清扫应从区域向一般区域方向进行。在无尘室内的清扫顺序并不是一成不变的，在洁净度要求很高的时候，有时要重复使用拖把，达到地面干净。 清扫时，为了防止不经意的危险，遇到阻碍物要迂回擦拭。药液和纯水拖地之后用真空吸湿器将多余的水吸走，缩短干燥时间。对于去除地面顽固性脏污，采用水喷雾/擦洗+真空吸湿器清扫。
桌子、其他重要的水平接触面
桌子、其他重要的水平接触面按照以上介绍的清扫方法选择合适的方式进行。使用药液从区域向一般区域方向擦拭，除去脏污。
椅子、家具
擦拭按从上到下的顺序进行。垫子、支架及车轮也在清扫的范围之内。
机械设备有很多供输管道、电线和连接部位，清扫时要注意检查管道和电线的破损情况，断开电源之后再进行清扫，防止危险的发生。机械设备有很多与产品直接接触的接触面，好进行等级划分，根据洁净度等级要求选择合适的清扫方式，并对不同等级区域进行标示，方便清扫正确进行。
a)设备的外表面跟无尘室内的洁净度是一致的。同墙壁、水平面、垂直面一起按照合适的顺序清扫。
b)设备的内表面分为设备内壁和内部设备接触面。内壁将重要的产品生产区域隔离开，内壁的清扫应该在内部设备接触面清洁之后再进行清洁。内部设备接触面的清扫除了要清洁之外还要定期保养维护。
c)与产品接触的接触面是离产品近的地方，因此有产品在时不可按照清扫顺序及流程进行，需根据洁净度要求进行，并以文件方式规定。
制定清扫流程
制定清扫流程是要先将各种无尘室的接触面进行等级分类，并了解不同表面的污染速度。清扫流程根据无尘室要求的洁净度制定合适的清扫频率。对表面污染进行试验和评估之后，做成流程手册。对无尘室内的制造工程、产品要求事项、清扫频率（每日一次/每周一次或其他频率）等进行相关规定。
日常清扫是为了防止异物污染到重要区域，按照合适的频率实行的所有相关的作业。无尘室清扫根据洁净程度评估，按照一日数次，一日一次或是数日一次的频率进行。更衣室、搬入区、大厅等的公共区域去除废弃物采取的真空除尘器，地面水拖拭，其他表面擦拭等是可以在生产作业时间内进行的。无尘室各个房间，按照产品和制造工程的重要度，对清扫流程进行的规定并文件化。更衣室和活动区域至少要一天一次清扫，因为这些区域都是人员活动密集区，异物聚集程度很高。因此，为了确保洁净度，防止异物转移污染，这些区域要比无尘室内一般区域清扫频度高，像无尘室区域一样频繁的清扫。
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