EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
SEM+EDS可以用于研究环境污染物质对生物体（如鱼类、昆虫等）的毒害作用及其机制。通过观察生物体在不同污染环境下的形貌变化和元素分布情况，可以深入探究环境污染物质对生物体的毒害作用及其与环境因素的相互作用。
工艺优化：SEM+EDS可以用于优化航空航天领域的制造工艺。例如，对于航空器的制造过程，SEM可以观察到焊接、钎焊等工艺的微观结构，而EDS可以分析焊接区域中的元素分布。这有助于优化工艺参数和提高制造质量。
