EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
空气污染研究：SEM+EDS可以用于分析空气中的颗粒物、污染物等物质的微观结构和化学成分，研究其来源、扩散和沉降等过程。例如，对于大气颗粒物，可以通过SEM观察其形貌和粒径分布，通过EDS分析其元素组成，探究其对人体健康和环境的影响。
故障分析：对于飞机或其他航空器出现的故障，SEM+EDS可以用于分析故障原因。例如，当飞机出现腐蚀、疲劳或机械损伤等问题时，SEM可以观察到这些缺陷的微观形貌，而EDS可以分析缺陷部位的元素组成。这有助于确定故障的源头和原因。
