两个激光位移传感器的激光对射，被测体放置在对射区域内，根据测量被测体上表面和下表面的距离，计算出被测体的厚度。
的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑，成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上，产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时，其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变，相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化
采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中绝缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，提高了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高可靠性。
薄膜测厚仪由于铝合金板材牌号众多，合金含量各不相同，而X射线对不同合金的吸收率是有差别的，为了弥补这种差别本系统增加了合金补偿功能（此功能类似于全量程标定功能）
