几何误差修正
几何误差是由于机器部件的磨损、定位误差或制造误差导致的。通过使用修正程序，可以纠正这些误差，从而提高测量精度。修正程序通常包括对机器运动的线性度、角偏差和重复定位精度的测量和调整。
光学干涉测量技术在精密加工中的应用：光学干涉测量技术利用光的干涉原理，通过测量光波在物体表面反射或透射时产生的干涉图样，来测定物体的形状、表面粗糙度等参数。该技术具有高灵敏度和非接触测量的优点，在光学元件加工、半导体制造、微纳米加工等领域得到广泛应用，推动了这些领域向更和更复杂结构的发展。
形位公差是指加工成的零件的实际表面形状和相互位置，对理想形状与理想位置的允许变化范围。它涵盖了形状公差和位置公差两大类。
分类：
形状公差：指单一实际要素的形状所允许的变动全量，如直线度、平面度、圆度、圆柱度等。
位置公差：指关联实际要素的位置对基准所允许的变动全量，包括定向公差（如平行度、垂直度、倾斜度）和定位公差（如同轴度、对称度、位置度等）。
