用途
无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一般的电热真空无尘干燥箱都采用先加热真空室壁面、再由壁面向工件进行辐射加热的方式。在这种方式下，控温仪表的温度传感器可以布置在真空室外壁。传感器可以同时接受对流、传导、和辐射热。而处于真空室里的玻璃棒温度计只能接受辐射热，更由于玻璃棒黑度不可能达到1，相当一部分辐射热被折射了，因此玻璃棒温度计反映的温度值就肯定低于仪表的温度读数。一般讲，200℃工况时仪表的温度读数与玻璃棒温度计的读数两者相差30℃以内是正常的。如果控温仪表的温度传感器布置在真空室内，玻璃棒温度计的温度值与仪表的温度读数之间的差异可以适当缩小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一个可能不可靠环节。如果从操作实用角度考虑不希望看到这个差异，可以采用控温仪表特有的显示修正功能解决。
一般的电热（鼓风）无尘干燥箱均设有温度均匀度参数：自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%，强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟电热真空干燥箱不设温度均匀度参数，这是为什么？真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此，从概念上我们就不能再把通常电热（鼓风）干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体，距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时，晒到太阳的一面很暖和，晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致，同时也缺乏的评估方法，这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。
工作步骤:
1.工作前:
(1)确认电气是否正常
(2)将欲烘烤产品放置烘箱内
(3)开启电源开关并调整温控仪表适当温度与加热恒温时间。( 4)开启鼓风开关，开启加热开关，开始工作
2.无尘洁净烘箱工作中:
(1)专心操作并配戴防护器具
(2)操作人员严禁离开加工区
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风，为了达到内部无尘的环境，需要在出风口的位置增加高温过滤装置（又分为千级和百级过滤器）。烘箱内的空气通过回风口后，一部分经过排气口排除箱外，另外的经过循环通道再次加热，后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外，另外要尽量避免工作过程中产生灰尘，需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
