为了防止X射线泄漏，高压发生器只有在射线防护系统正常的情况下才能启动。射线防护系统正常与否，主要检查以下二部分：
1、面板的位置是否正常。X射线荧光光谱仪是一个封闭系统，面板是外层的射线防护装置，如果有一块面板不到位，仪器就有射线泄漏的可能。因此，每块面板上都有位置接触传感器，面板没有完全合上，高压开不起来。
2、X射线的警示标志是否正常。国家标准规定X射线荧光光谱仪安装红色警告信号灯并与相应的开关联动，因此如果信号灯失灵，高压也开不起来。
有一种简单的方法可以判断高压不能启动是否是由射线防护系统引起，即将仪器的状态设定为维修状态，屏蔽射线防护系统，如果这时高压可以开起来，就可以确定故障是由射线防护系统的问题引起的。
有一种故障现象是高压开起来几分钟后跳掉，产生这种故障的原因可能为内循环水的流量过小。内循环水的流量通过流量计测量，水流过流量计时，带动流量计内的叶轮，叶轮切割磁力线，产生电信号。叶轮在水中长期转动，可能会锈蚀，从而使叶轮的转速减慢，流量计的电信号减弱，使仪器误认为水流量过小而导致高压跳掉。另外内循环水的过滤网堵塞导致水流量减小，也会引起高压跳掉。
高压发生器和X射线光管是仪器内贵重的部件，一般不会出问题。检查高压发生器，可将高压发生器打开，根据电路图，检查各个开关是否在正常位置，看一下保险丝有没有熔断，再进一步的检查好由维修工程师来做。X射线光管是个封闭的部件，一旦损坏，只能更换，不能修理。检查X射线光管，可检查X射线光管与高压电缆的连接是否正常，高压电缆有无损坏。
在低X射线光管功率情况下，选一个KKα计数率约2000CPS的样品，测定计数率，然后用一个钾含量高的样品取代原样品，将光管调到满功率，保持2分钟，再将X射线光管功率减至原值，测量个样品，如窗膜导电正常，将得到原计数率，如窗膜导电性能变差，会发现计数率减小，然后慢慢回升至初始值，这时就应调换窗膜。
晶体是仪器内脆弱的部件，尽量不要用手接触衍射面，如果手或其他东西碰到了晶体的衍射面，就会污染晶体，手上的汗或其他物质渗到晶体的表面，使晶体表面的晶格间距发生变化，而X射线荧光的衍射主要发生在晶体的表面，因此造成2θ扫描的峰形不光滑。这种故障一时很难消除，一般清洗不干净。
RoHS检测仪扫描时只出现噪声信号，没有峰位信号的故障分析：
1探测器的前置放大电路出现故障，出现的噪声信号为电路噪声，不是X射线信号。
2测角仪的θ和2θ耦合关系发生混乱，通常是控制θ和2θ耦合关系的CMOS中的数据由于电池漏电等原因丢失，这时需要重新对光。
RoHS检测仪的基础保养
1、专人负责仪器的操作和维护。
2、在没有电磁干扰的环境下测试，如仪器附近不能有大功率的电机、电焊机等。
3、建议使用UPS（电源稳压器），保持电压稳定，以免对仪器部件造成损坏。
4、保持仪器的清洁和干燥。
5、请不要把仪器放在太脏或者太热太冷的环境里。
6、请不要自行修理仪器。
7、测试后，请关闭盖子，避免仪器受污染。
8、室内温度应保持在 -11℃～46℃。
9、室内湿度应保持在 0～60%之间。
众所周知不同的操作方法和不同的操作模式能够让这种装置产生不同的使用功能，而自身的光谱仪在日常使用时被测的物品有着特定的范围，因此客户更需要在选择的光谱仪时需要了解这种光谱仪所能够测量的物质，分析具体的测量方法并以科学合理的手段作为根本，让这种光谱仪的测量要有更好的实现空间和检测价值。
RoHS检测仪采用X射线荧光光谱技术，通过发射高能X射线照射样品，使其原子激发并产生X射线荧光。这些荧光信号会携带样品中各种元素的特征信息，仪器通过收集这些信息并进行分析，从而确定样品中各种元素的种类和含量。
