江苏宝应长晶炉回收控制屏回收联系电话
更新时间:2024-11-18 01:07:19
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专利文献CN1205362C公开了 一种直拉硅单晶炉热场的气流控制方 法及装置,其包括在单晶炉晶体生长室内的石墨加热器和保温筒间装有密 封导气装置,使含有一氧化硅的气体的气流经密封导气装置的导气管 及排气口,在真空泵的作用下,排出炉外。密封导气管装置由导气管、底 座、密封环、排气口所组成,安装在石墨加热器和保温筒之间。上述现有技术的不足之处在于单晶炉的坩埚支持器下方的混合气体 不能有效的排出,从而使混合气体中的一氧化硅对加热器和坩埚进行腐蚀, 影响单晶炉的使用寿命。且其向炉内充入时的充气气压在1. 3xi0a 以上,导致其流量较大,故而消耗量大,生产成本较高。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,产品介绍:SG-XQL1400型箱式真空气氛炉以硅碳棒为加热元件,,采用智能化控温系统,移相触发、可控硅控制;炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,保温效果好;双层壳体结构,带有风冷和水冷系统,能快速降温,炉门配有循环水冷,防止密封圈过快老化,保炉门与炉胆的可靠密封。主要用途和适用范围\可应用于电子元器件、新型材料及粉体材料的真空或气氛条件下的热处理工艺。也用于冶金、机械、轻工、商检、高等院校及科研部门、工矿企业电子陶瓷产品的预烧、烧结、钎焊等工艺。主要功能和特点:1、
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原理编辑,把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚,通过石墨加热器产生的高温将其熔化;然后,对熔化的硅液稍做降温,使之产生一定的过冷度,再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面,待籽晶与熔体熔和后,慢慢向上拉籽晶,晶体便会在籽晶下端生长;接着,控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3~5mm的细颈,用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错,这个过程是引晶;随后,放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩;接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角;然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体;后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。
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