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对比几个真空镀膜机的检漏方法：
氦质谱检漏该工艺是真空镀膜机真空检漏技术里不可缺少的一种技术，因为检漏率，简单易使用，仪器设备反映灵敏，，不容易受别的气体的影响，在检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氮气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、解析器、回收器、冷阴极水解规构成的质谱分析室和吸气系统及电气一部分等构成。质谱分析室里的钨丝发送出去的电子，在房间内不停地震荡，并与房间内空气和经漏孔进入到屋内的氦气互相撞击使其水解成共价键，这种氦离子在加快静电场的作用下进入到磁场，因为洛伦兹力作用产生偏转，产生圆弧状轨道，更改加速电压可使不一样品质的离子通过磁场和接受缝抵达接收极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在检漏中经常使用的这两种方式。采用真空法检漏，镀膜机不需要停机，直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪，在怀疑有漏的地方喷氦气，即可完成检漏。
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蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。
如何处理真空镀膜的灰尘呢
1、设备使用的源材料要符合必要的纯度要求。
2、设备样品取出后要注意放置环境的清洁问题。
3、真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。
4、真空镀膜清洗衬底材料，要做到严格合乎工艺要求。
5、真空镀膜适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物。
6、工作人员在操作时需要戴手套、脚套等，要有的服装。
由于灰尘对镀膜效果会产生比较大的影响，因此为了避免在真空镀膜设备中留下灰尘，应该在使用中注意以上几点来尽量避免，除此也要注意经常清洗，避免灰尘越积越多。
真空镀膜工艺在信息存储范畴中的运用薄膜资料作为信息记载于存储介质，有其得天厚的优势：因为薄膜很薄能够疏忽涡流损耗；磁化回转极为敏捷；与膜面平行的双稳态状况简单保持等。为了更精细地记载与存储信息，必定要选用镀膜技能。
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