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臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
使用说明
1、臭氧发生器安装人员要经过技术培训才能开机维修；
2、使用臭氧机杀菌时，严禁工作人员在浓度较高的臭氧环境中上班和工作；
3、切记设备保养或维修时 处理电源断掉和把臭氧泄气的状态下进行，能够很好的确保人员安全维修；
4、如有异常，请立即断电或者通知的人员进行检修。
5、合格的接地线，安全可靠的接地，禁止安装在氨气易泄露或有发生爆炸危险的危险区
6、对工艺流程臭氧发生器的应用方法操作人员应知晓，并且能熟练的操作此消毒设备。
7、如发生臭氧泄漏的情况需要时间关闭臭氧发生器，并开启通风设备进行通风处理后，即时退出臭氧发生器使用空间，等空间残余臭氧降至安全范围再进入。
臭氧发生器应用于水处理工程等场合时，有很多因素可能影响发生器的效率及其可靠性，因此在设计臭氧发生器应用系统时注意下列问题：
⑴发生器原料气体不得含烃类、腐蚀性气体和任何其他能在氧/臭氧/电晕环境内发生反应，从而对设备安全造成危害或损坏的物质。
⑵供气压力不能无控制地改变，由于气压影响电晕功率诱导和跨越介电体所加电压，大范围压力变化会使发生器运行不可靠。超出电晕功率范围可造成熔断器或自动断电器断开。超出外加电压峰值还能造成介电体过早失效。
⑶臭氧发生器系统设计时，能防止大量水进入到发生器内。
⑷冷却水的水质要好，防止结垢，以免影响发生器的散热效果。
⑸对于气冷却发生器来说，冷却空气无潮气、杂质、腐蚀性、气溶胶、油质或导电物质以及可见粉尘。正常情况下，除非处在一个极度多尘的工业大气环境内，空气多半是不需要过滤处理的。
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