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电解式臭氧消毒机通常是通过电解纯净水而产生臭氧。这种发生器能制取高浓度的臭氧水，制造成本低，使用和维修简单。但由于有臭氧产量无法做大、电极使用寿命短、臭氧不容易收集等方面的缺点，其用途范围受到限制。这种发生器只是在一些特定的小型设备上或某些特定场所内使用，不具备取代高压放电式发生器的条件。
高压放电式臭氧消毒机按冷却方式划分，有水冷型和风冷型。臭氧消毒机工作时会产生大量的热能，需要冷却，否则臭氧会因高温而边产生边分解。水冷型发生器冷却效果好，工作稳定，臭氧无衰减，并能长时间连续工作，但结构复杂，成本稍高。风冷型冷却效果不够理想，臭氧衰减明邀洪显。总体性能稳定的臭氧消毒机通常都是水冷式的。风冷一般只雄地纸用于臭氧产量较小的中低档臭氧消毒机。在选用发生器时，应尽量选用水冷型的。
按臭氧消毒机结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极船鸦匪蜜是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度雅愉舟享较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧消毒机成本远开放式。
紫外线式臭氧消毒机机是使用特定波长(185mm)的紫外线照射氧分子，使氧分子分解而产生臭氧。由于紫外线灯管体积大、臭氧产量低、使用寿命短，所以这种发生器使用范围较窄，常见于消毒碗柜上使用。
高压放电式臭氧消毒机是使用一定频率的高压电流制造高压电晕电场，使电场内或电场周围的氧分子发生电 移动式臭氧消毒机 化学反应，从而制造臭氧。这种臭氧消毒机具有技术成熟、工作稳定、使用寿命长、臭氧产量大（单机可达1Kg/h）等优点，所以是国内外相关行业使用广泛的臭氧消毒机。
游泳池水处理：主要采用加氯、漂白粉、硫酸铜等消段，在水质达标的同时，又造成二次污染，造成使水质扎眼，刺激皮肤等恶果，特别是液氯使用中潜在威胁很大，一旦泄露会造成大面积中毒污染，使用中使人提心吊胆。微纳米臭氧技术在水质达标的情况下，完全没有以上缺陷，微纳米臭氧水还可消杀体菌以美容，更为经济的是使用中减少或取消了药物消耗，成本降低，水质保质期得以延长.
饮用水处理：微纳米臭氧用于饮用水处理，除灭菌效果好，无二次污染外，还兼有脱色、除味，去除铁、锰、氧化分解有机物和助凝作用，有的报告指出，微纳米臭氧能够消杀水中一切对人体有害的物质。
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