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臭氧杀菌机理以氧化作用破坏微生物膜的结构实现杀菌作用。臭氧作用于细胞膜，使膜构成成份受损伤而导致新陈代谢障碍，臭氧继续渗透穿透膜而破坏膜内脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，导致细胞溶解、死亡。而臭氧灭活病毒则认为氧化作用直接破坏其核糖核酸RNA或脱氧核糖核酸DNA物质而完成的。
空气应用浓度
◎作为空气除味与杀菌，要求臭氧浓度较低，如0.5ppm（1mg/m3），而物品表面消毒（杀灭微生物和去除化学污染）则要求提高几十倍的臭氧浓度。
◎空气应用具氧浓度在1mg/m3～10mg/m3之间。
◎温度低，湿度大则杀灭效果好，尤其是湿度，相对湿度小于45%，臭氧对空气中悬浮微生物几乎没有杀灭作用。在60%时才逐渐增强，在95%时达到大值。
◎用臭氧消毒食品加工车间，0.5～1.0ppm即可杀灭空气中的80%的自然菌。
◎冷库消毒要求臭氧浓度6～10ppm，停机后封库24小时以上细菌杀灭率90%左右，霉菌杀灭率80%左右。
作用
（1）臭氧是强氧化剂,可以灭空气、水中的有害细菌和毒,家庭用臭氧机可以用于家庭的居室、厨卫、电器（冰箱、洗衣机等）、橱柜等空气的菌,也可用于水的菌。
（2）消毒,臭氧可以降解瓜果、蔬菜表面残留农,可防腐保鲜,清除异味,适合于水果、生菜、腌制菜的清洗；可对衣物被褥等进行消毒处理。
（3）除臭,臭氧可以分解臭气分子,用于厨卫、衣物的除臭。
（4）臭氧可以分解甲醛等有机挥发性有害气体,可用于装修污染的治理；也可以帮助清新空气。
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