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臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
使用说明
1、臭氧发生器安装人员要经过技术培训才能开机维修；
2、使用臭氧机杀菌时，严禁工作人员在浓度较高的臭氧环境中上班和工作；
3、切记设备保养或维修时 处理电源断掉和把臭氧泄气的状态下进行，能够很好的确保人员安全维修；
4、如有异常，请立即断电或者通知的人员进行检修。
5、合格的接地线，安全可靠的接地，禁止安装在氨气易泄露或有发生爆炸危险的危险区
6、对工艺流程臭氧发生器的应用方法操作人员应知晓，并且能熟练的操作此消毒设备。
7、如发生臭氧泄漏的情况需要时间关闭臭氧发生器，并开启通风设备进行通风处理后，即时退出臭氧发生器使用空间，等空间残余臭氧降至安全范围再进入。
臭氧消毒杀菌机，采用大自然空气为原料以电子方式高频高压放电产生高浓度臭氧比氧分子多了一活泼的氧原子臭氧，化学性质特别活泼，是一种强氧化剂，在一定浓度下可迅速杀灭空气中的细菌，主要用来消除生活环境中各种有毒物质和有害微生物。臭氧具有不稳定性臭氧在常温下可以自行还原为氧气，不会污染环境。而且，原料广泛，水、空气都是制取臭氧源，符合保护环境的要求。在纯水、矿泉水、无盐水的生产中，臭氧可起到消毒、灭菌、增氧、净化和改善口感的作用；在污水处理中，臭氧可处理污水中难处理的化学物质，并有脱色、去异味作用。它在水处理工程的广泛应用。
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