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氩气回收氩气回收设备氩气回收净化

更新时间:2024-03-20 20:00:02 信息编号:b02558es045865
氩气回收氩气回收设备氩气回收净化
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氩气回收氩气回收设备氩气回收净化

产品别名
氩气回收净化,氩气回收设备,氩气回收装置,氩气回收纯化
面向地区
产品简介:
处理气量:(1-1000)Nm3/h
压力:≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999%
露点:≤-70℃
纯氩含氧量:≤1.5ppm
广泛应用于:
光纤,单晶硅,多晶硅行业等氩气的回收及纯化。

单晶硅行业氩气回收(氩气回收率≥95%)
根据单晶炉工作运行的工序,真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气经过鼓风机进入到进气储罐,然后再进入到预处理设备,除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元,根据各个工艺将里面的杂质一一去除,然后使得回收气气体纯度达到所需要求,进一步循环利用。

苏州穆尔气体设备有限公司 10年

  • 氢气回收,氧气回收,氩气回收装置,氦气回收装置
  • 江苏苏州市迎春南路49号

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