多功用磁控溅射镀膜系统，由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体气氛下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸腾镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造，使整个薄膜生长和器材制备过程高度集成在一个完整的可控环境气氛的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高功用、大面积有机光电器材和电路的制备。
众所周知，真空镀膜机的运行状态将直接影响镀膜产品的质量。为了更好地运行，有必要对真空镀膜机进行维护。那么，你知道真空镀膜机维护的意义吗? 设备的日常维护就是发现生产中的异常现象，尽早解决。如果发现机械泵的油量减少，应该添加。不要认为应该定期换油。否则，在进行维护时，泵的转子可能会严重磨损。比如有些轴承工件被夹住，就要更换轴承;否则坏了，问题就严重了，可能会出现电机烧毁等问题。
在检漏过程中，为了做好检漏工作，有必要注意一些问题。
，检查虚漏是否仍为实漏，因为工件数据加热后会出现不同程度的气体，有可能被误认为是从外部流出的气体，这就是虚漏，要消除这种情况。
第二，测试真空室的气密性功能，确保气密性功能符合要求。
三、检查漏孔的大小、形状、方位、漏速，编制解决方案并实施。
四、得出检测仪器检漏的检出率和灵敏度，要检查刻度的泄漏情况，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏检测的准确性。
五、掌握检漏仪的反应时间和消除时间，把握好时间，检漏仪操作到位，时间少，检漏功能一定差，时间长，浪费检漏气和人工电。
六、还要防止泄漏堵塞，有时由于操作失误，在检漏过程中，一些灰尘或液体将泄漏堵塞，认为孔的方向没有泄漏，但当由于内外压差进展或其他原因导致泄漏孔未堵塞时，泄漏仍在那里。
