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包含:环境可靠性测试、机械可靠性测试、尺寸量测、材料机械性能测试、化学成分分析、清洁度测试等
SEM+EDS分析:
放大倍数: 5~30万倍
解 析 度 : 3 nm
分析元素范围: Be(4)~U(92)
大样品尺寸: 200 mm
分析对象: 固体样品,金属、塑料和电子零件.
功能与目的: 微区成分分析
失效模式/机制分析
断口形貌观察等
扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)是一种高分辨率的电子显微镜技术,可用于对形貌和表面特征进行分析和观察。相比于传统的透射电镜,SEM不需要样本薄片,可以直接对样品进行观察,因此适用于分析各种形状和大小的样品。 SEM分析过程中,样品表面被电子束轰击后,会产生二次电子和背散射电子。这些电子会被探测器捕捉并转换为电信号,形成图像。SEM图像具有高分辨率和高对比度,可以显示出样品表面的微观结构和形貌特征
SEM+EDS分析:
高能电子束轰击样品表面,激发各种信号。可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析:
SEM主要利用背散射电子(BEI)和二次电子(SEI)来成像
EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。
SEM+EDS测试原理:
SEM:利用阴极所发射的电子束经阳极加速,由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流,这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息,经过分别收集,放大就能从显示屏上得到各种相应的图像
扫描电子显微镜(扫描电镜SEM):一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。