化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，SiTiO3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
在镀膜领域，镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜功用的一个重要因素。因此，当点评某薄膜样品的功用时，需求检测该薄膜样品不同厚度下的功用。对于真空镀膜的情形，这往往需求进行多次试样的制备。而这样多次制备样品存在两个问题：，不同次生长的样品，仪器的状况不同，以至于影响薄膜样品功用的因素可能不仅仅是厚度;其次，真空镀膜试验装取样品需求重新进行真空的获得，十分耗时。增加了出产和检测的本钱。
多功用磁控溅射镀膜系统，由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成，可在高真空蒸镀腔室中完结薄膜蒸镀，并在手套箱高纯惰性气体气氛下进行样品的寄存、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸腾镀膜与手套箱组合，实现蒸镀、封装、测验等工艺全封闭制造，使整个薄膜生长和器材制备过程高度集成在一个完整的可控环境气氛的系统中，消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响，保障了高功用、大面积有机光电器材和电路的制备。
关于真空镀膜机所用的塑料材料，需要与膜层结合性高，放气量小，受热稳定，一起满意这三个条件的塑料资料是十分少的，但塑料资料在工业出产中的应用却十分广泛，所以塑料真空镀膜机的应用也随之发展起来，为了使更多的塑料投入到真空镀膜中，常常经过各种方法改善。
定期保养，有人会问常规保养和定期保养的区别?事实上，每个设备都有使用寿命。例如，用于扩散泵的硅油具有大约两年的使用寿命。我们早点换掉它。这是浪费吗?不，在生产中，设备故障是不可能发生的事情。做好日常维护和定期保养，不仅可以延长设备的使用寿命，还可以减少运行故障，提高生产效率。
工件常用的除气方法是烘烤。工件中的气体和水分通过加热排出。涂装前，工件边抽边加热。当工件中的水分和气体因受热而释放出来时，它们与真空室中的气体一起被真空泵抽出。针对不同的工件采取不同的脱气措施，可以有效控制工件内部气体和水的排放，提高涂层的稳定性和均匀性。
与传统的镀膜方法相比，真空镀膜属于干法镀膜，其主要方法有以下几种:
1.真空蒸发
其原理是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发材料使其蒸发或升华，蒸发的离子流直接射向基片，在基片上沉积固体薄膜。
2.溅射涂层
溅射镀膜是一种真空条件，在阴极施加2000V高压激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极喷出原子。溅射的原子通过惰性气氛沉积在衬底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.离子电镀法
即干式螺杆真空泵制造商已经推出的真空离子涂层。它是在上述两种真空镀膜技术的基础上发展起来的，所以具有两者的工艺特点。在真空条件下，工作气体或蒸发物质(膜材料)通过气体放电被部分电离，蒸发物质或其反应物在离子轰击下沉积在基片表面。在成膜的过程中，衬底总是受到高能粒子的轰击，这使得它非常干净。
4.真空卷绕涂层
真空镀膜是通过物理气相沉积在柔性基板上进行连续镀膜的技术，以实现柔性基板的某些功能性和装饰性。
检查泄漏情况是真空镀钛机真空度的一种检查方法，简称检漏。真空的凹凸度直接影响镀膜的作用，因此检漏是的。通常情况下，真空室的漏气是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接头引起的。抽气系统抽气时，真空室内压力降低。内外压差使气体从外部高压流向低压真空室，造成真空度降低。
在检漏过程中，为了做好检漏工作，有必要注意一些问题。
，检查虚漏是否仍为实漏，因为工件数据加热后会出现不同程度的气体，有可能被误认为是从外部流出的气体，这就是虚漏，要消除这种情况。
第二，测试真空室的气密性功能，确保气密性功能符合要求。
三、检查漏孔的大小、形状、方位、漏速，编制解决方案并实施。
四、得出检测仪器检漏的检出率和灵敏度，要检查刻度的泄漏情况，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏检测的准确性。
五、掌握检漏仪的反应时间和消除时间，把握好时间，检漏仪操作到位，时间少，检漏功能一定差，时间长，浪费检漏气和人工电。
六、还要防止泄漏堵塞，有时由于操作失误，在检漏过程中，一些灰尘或液体将泄漏堵塞，认为孔的方向没有泄漏，但当由于内外压差进展或其他原因导致泄漏孔未堵塞时，泄漏仍在那里。
