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直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。
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中频电炉设备主要应用领域: 1、机床导轨的淬火处理； 2、煤矿用截齿的焊接；矿山用一字钎头和梅花钎头的焊接； 4、直径30以下螺栓的热变形； 5、直径30以下的螺母的热变形； 6、金属粉末重熔； 7、直径300以下链轮的热处理； 8、直径80以下轴的淬火处理； 9、直径80以下工件的横截面处理； 10、各种手工工具的淬火处理（锤子，斧头，管钳，断线钳）； 11、各种汽车工具的热变形（如套筒扳手）； 12、汽车、托车零部件的局部热处理； 13、各种机械零部件的的局部热处理（需厂家提供图纸及技术要求）。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) )
