保养方法
日保养
1． 打扫表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生。
2． 检查电流表电流跟正常时是否一样，如有异样，通知维修工检修。
3． 突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。
4． 检查风机运转是否正常，有无异常声音，如有立即关闭机器并通知维修工检修。
月保养
1． 检查通风口是否堵塞，并清理积尘。
2． 风机运转是否正常。
3． 维修工检查电流是否正常。
4． 检查温控器是否准确，如不准确，请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。
5． 检查发热管有无损坏，线路是否老化。
6． 检查延时器是否准确，误差是否允许。
无尘洁净烘箱的使用注意事项及操作规程
A.以电力为热源(电加热)，可长期在250°C温度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤区的温度是由微电脑PID控制或采用PLC控制，可对烘箱内温度实时多点显示及自动记录。C出风口装有耐高温空气过滤器，每次运风循环均充分过滤(CLASS100 )，有效防止外界空气对内部的二次污染.D.装有过滤器，电热烘箱内部循环热风经高温空气过滤器反复过滤，了进入无尘空间的热风达到100级洁净之要求。
E双层洁净烘箱采用完全立的可编程加热控制系统及运风系统，了各洁净区之间的隔离，防止了由于误操作而引起的不符合GMP要求的事故发生。
F.必要时洁净烘箱还可加装充氮接口(充入惰性气体保护)，防止被烘烤产品的氧化
工作步骤:
1.工作前:
(1)确认电气是否正常
(2)将欲烘烤产品放置烘箱内
(3)开启电源开关并调整温控仪表适当温度与加热恒温时间。( 4)开启鼓风开关，开启加热开关，开始工作
2.无尘洁净烘箱工作中:
(1)专心操作并配戴防护器具
(2)操作人员严禁离开加工区
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
加热1、加热步骤在气压稳定状态下进行，否则易导致内外压强及温度差，造成外部大气冲入箱内等突发状况；2、升温过程中，加热指示灯长亮，达到设置温度后，加热自动停止，同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时，加热再次启动，加热指示灯亮；3、加热指示灯及温度需正常显示，若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。
温度设置1、设置温度不可超过额定温度，真空下物料燃点、沸点骤降，设置温度不合理会造成固态物料熔融结块等现象；2、数显温度需正常指示，若不显示或出现闪烁、跳跃等异常需及时关闭电源并联系仪器负责人；3、操作人员需待实际温度与设置温度一致，加热指示灯熄灭后，方可离开；4、为避免控温失灵，需有专人定时查看仪器运行是否正常，并留意烘烤物料变化情况，若发现异常需第D一时间关闭加热、切断电源、打开放气阀门。
检查无尘洁净烤箱是否符合生产要求，检查台车烘箱各紧固件是否松动，开机操作前检查台车烘箱是否有漏电现象，若漏电严禁操作使用，并及时查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超过3cm，合上电源总开关，电源指示灯亮。 按下无尘洁净烤箱启动按钮，风机运转，温控器通电。初次使用应检查风机转向，右侧风机从电机端看进去应为逆时针转，转向不符应改变电源相序。
无尘洁净烤箱内物品放置切勿过挤，留出空间，以利热空气循环，无防爆装置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、热风电机、加热管、拉手等应定期保养，清洁灰尘。要做好无尘洁净烤箱的日常维护保养工作，使用、维护应有专职人员进行，保养时先切断电源，安全。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风，为了达到内部无尘的环境，需要在出风口的位置增加高温过滤装置（又分为千级和百级过滤器）。烘箱内的空气通过回风口后，一部分经过排气口排除箱外，另外的经过循环通道再次加热，后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外，另外要尽量避免工作过程中产生灰尘，需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
