SEM+EDS分析：
放大倍数: 5~30万倍
解 析 度 : 3 nm
分析元素范围: Be(4)~U(92)
大样品尺寸: 200 mm
分析对象: 固体样品,金属、塑料和电子零件.
功能与目的： 微区成分分析
失效模式/机制分析
断口形貌观察等
SEM+EDS分析：
高能电子束轰击样品表面，激发各种信号。可以对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察及成分分析：
SEM主要利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像
EDS通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息。
EDS： 入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析。
