对于N2 28.01(氮气的分子式,化学式为N2,相对分子质量约为28.01),超纯氮气的检测标准通常非常严格,以确保其纯度非常高,适用于各种高要求的应用,如半导体制造、实验室研究、电子设备的气体填充等。超纯氮气的检测标准可能包括以下几方面:
纯度 : 体积分数 :氮气(N2)纯度应达到或超过99.9999%,这意味着每百万体积气体中,杂质气体(如氧气、氩气、氢气等)的体积应极少。
2. 杂质气体含量 : 氧(O2) :体积分数小于或等于0.1ppm(十亿分之一)。 氩(Ar) :可能要求更严格,可能在10 6级别,具体取决于应用需求。 氢(H2) :同样在10 6级别,也可能更低。 其他气体(如CO、CO2、CH4) :总含量应远低于1ppm,可能具体限制为1.0, 2.0, 或 3.0 ppb(十亿分之几)。
3. 湿度 或 露点 : 超纯氮气通常有严格的湿度控制,露点要求可能低至 55°C到 60°C,以确保没有水分凝结成液态形式。
4. 压力 和 流量 :根据应用可能需要特定的压力范围和稳定流量。 这些标准可能会因行业、应用和具体规格的不同而有所变化。在实际操作中,检测可能通过气体分析仪进行,例如光谱分析、质谱分析或者电导率测量等方法来确保氮气的纯度和质量符合要求。
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