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六氟化硫是常温常压下无色无味气体。它不燃烧。它具有热稳定性和化学活性，在500℃以上的红热下不分解，在800℃以下很稳定，250℃下与金属钠反应。它没有腐蚀性。它可以用普通材料，不会腐蚀玻璃。电气绝缘性能和消弧性能良好。绝缘性能是空气的2-3倍，气压越大，绝缘性能越高。其药理特性不具有活性和毒性。在水里美容比在水里更容易溶于酒精和乙醚。不溶于盐酸和氨。
电子设备采用气体绝缘体、雷达波导管、粒子加速器、变压器、避雷器、冷却剂、靶装置、医疗、蚀刻、化学相沉积、标准气体、半导体制造中的泄漏气体、色谱的载量。
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