基本的清扫
一般保持无尘室的清洁度，需要一系列的作业流程。制定清扫标准及符合标准的基本清扫方法。
基本清扫的分类清扫
从清扫前的状态到清扫完毕后达到期望的洁净度，可以分为三类：“粗清扫”、“普通清扫”和“精密清扫”。
a)“粗清扫”---去除直径在50μ以上的大颗粒。这种类型的颗粒一般在地面，更衣室，风淋室常见。生产作业过程中发生的，磨耗坏损、溢出的异物是污染接触面及地面的原因之一。建筑物发尘和设备维修也是多产生大颗粒异物的原因。
b)“普通清扫”---去除直径在10μ~50μ较小颗粒的异物。适用一般无尘室接触面。通常，墙壁和作业台包括在普通清洁范围之内。在粗清扫之后，还会有很多异物残留，普通清扫可以达到更高的洁净度标准。
c)“精密清扫”---去除10μ以下的残留异物。精密清扫是在产品制造场所和保管场所以及附近的接触面进行。
真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
湿式清扫
与液体接触的表面，需要采用擦拭+真空清洁的湿式清扫方式。湿式清扫是广泛被应用的清扫方式，以下是具体的介绍：
a)“擦洗清扫”是为了去除脏污和重度污染，采用机械或手动进行的一种粗清扫方法。注意防止擦洗所使用的机器或用具自身的发尘污染。擦洗之后，用干拖把或是真空吸湿器将多余的水除去。
b)“拖把清扫”是粗清扫、普通清扫中去除脏污很有效的一种方法。拖把清扫是在真空除尘之后，去除残余液体的清扫方法。擦洗适用于局部区域，而拖把则适用于地面或是大面积区域。拖地水好是经过过滤的离子水或蒸馏水，并频繁更换干净的拖地水。区域更换拖地水的频率要更高。对于“粗清扫”来说，拖地水以变色为更换标准，清洗干净水桶之后再接满水。“普通清扫”和“精密清扫”的标准是在水未变色之前就要换水。因此好有两个以上的水桶以免频繁的换取水。必要时配合使用非离子合成洗剂或是接口活性剂清洁。为了避免拖地后剩水太多，尽量将拖把拧干。拧干之后拖地虽然还是会有水残留，但是会干很快。为地面都被拖到，请重复拖拭。重复拖地时，将拖把换面，防止脏污面将拖干净的地面再度污染。注意也不要频繁的重复拖拭，避免再度污染。墙角的地方需要使用特殊的拖把清扫。
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