SEM通过聚焦电子束扫描样品表面，激发二次电子和背散射电子等信号，这些信号被转换为图像，从而揭示样品的微观形貌和结构信息。
EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面，激发原子内层电子并产生特征X射线，通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析技术具有高分辨率、高灵敏度、高准确性等优点，能够实现对样品表面和内部微观结构的深入分析和理解。
在SEM+EDS分析中，可以通过调整电子束的加速电压、束流强度等参数，优化成像效果和元素分析的准确性。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的相变、扩散、析出等过程，为材料的热处理和改性提供科学依据。
在SEM+EDS分析中，需要注意样品的尺寸和形状对分析结果的影响，需要选择合适的样品尺寸和形状，以确保分析的准确性和可靠性。
SEM+EDS分析技术可以用于研究生物样品的微观结构和成分分布，为生物医学研究和临床诊断提供重要信息。
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