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用于熔化硅料的外部化料器7，所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通，所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通，以便将硅料加加料坩埚62后，硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化，被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地，外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64，以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通，所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73，所述装料器71和加料坩埚62相连通，所述化料器坩埚72和装料器71相连通，
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所述气流导向装置的中轴孔与该炉的石墨中轴活动密封连接，以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的电极孔分别与该炉的电极柱密封连接，以防止因 该电极孔与电极柱之间的间隙而漏气，影响排气效果。所述气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒密封连接，以防止 因气流导向装置的上端部的外壁与该炉的保温筒之间的间隙而漏气，影响 排气效果所述气流导向装置各通气孔与该炉的排气口通过通气管相连通，以提 高排气效果。所述气流导向装置由石墨制成，石墨具有强度高、抗热震性好、耐高 温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。本发明具有积极的效果(1)分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。购买技术主要要求1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度） 5设备制造工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
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