无尘车间组成部分
一、结构部分
1.彩钢板围护、吊顶、回风柱、回风墙：岩棉板；吊顶用手工板、墙体用机制板；钢板厚度：376、426、476、500等,所有板密度达到12kg/㎡以上，方可承重。
2.铝型材：T型吊梁、内圆弧、外圆弧、槽铝、角铝（均为6m一条）、内圆接角、外圆接角等，洁净用的铝型材需要有涂层防酸碱腐蚀。
3.门窗：彩钢板门、彩钢板活动门、玻璃视窗。
4.风淋室、传递窗。
5.地板：防水层、环氧地板（2mm----3mm厚度，加防静电粉用于防静电）、PVC地板（2mm和3mm两种厚度、450mm*450mm和600mm*600mm两种规格）、高架地板（百级用，下刷环氧地板）
二、暖通部分
1.空调设备：
（1）风冷机组、水冷机组：风冷可以致热，水冷不能致热；水冷机组需要用到水泵、膨胀水箱等。
（2）风量单位：CMH（每小时每平方米面积上通过的风量）
（3）冷量单位：KW千瓦或匹：1匹=2000大卡×1.16＝2324W，1匹空调的制冷面积大概为11-17平方米。
（4）不同级别净化车间换气次数：
百级：200—300次/小时（高架地板、层流）
千级：50—60次/小时
万级：30—35次/小时
十万级：15—20次/小时
（5）DDC：温度湿度控制器，探头在车间中检测，若与设定温湿度发生偏差，则自行调节。
2.风管风口
（1）镀锌钢板风管： 1.2m宽的主风管用1.2mm厚的钢板，0.8----1.0m宽的用1.0mm或0.8mm厚度，薄部分一般用0.6mm厚度钢板；
（2）送风口：一般按照风量来算，比如1200CMH，有垂直送风的，有侧送风的；
（3）PEF保温：一般都用2.0cm-------3.0cm厚度的保温材料包裹风管，若低于2.0cm则保温效果差。水管保温的话用PEF保温管壳。
3. 空调水管：只针对水冷机组
三、给排水部分
生产车间普通设备用水，涉及到水泵、水管、水箱等。
四、电气部分
1.配电柜：照明、设备动力等；
2.洁净灯具；
3.铜芯电线；
4.电气配件。
五、纯水系统
1.每小时用水量：m³/h；
2.水质（用水级别）：一般以25℃下的电阻率唯判定标准，如18MΩ@25℃。（1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ）；
3.纯水接机器还是取水机；
4.水源：自来水、井水、河水等。
六、废气处理系统
1.气体性质：酸气、碱气、有机气、热气、污染性气体、有毒性气体等。
七、特气系统
八、空压系统
无尘车间的分类：
1.乱流式（Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器（HEPA）进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气，将污染空气逐渐稀释，来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）。此型式适用于无尘室等级1,级。
优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制
程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式（Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种：
⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。
优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式（Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
无尘车间装饰装修工程的材料选择，应符合下列规定：
1、无尘车间工程建设的设计要求;
2、应满足防火、 保温、 隔热、 防静电、 振动、 噪声和其他要求;
3，应确保洁净室空气密封性的要求，没有灰尘和颗粒吸附在表面的材料，没有积累的灰尘;
4、应使用不发霉、 防水、 耐水洗材料应清洗干净，污染物和非易失性的分子;
5，应满足要求的产品质量，生产，和可能不会释放有害影响产品质量的材料;
6，应遵守国家有关标准的建筑装饰装修材料有害物质。
7，洁净室装修及装修工程的植物结构和屋顶完成后的和工程验收。执行现有的建筑，如环境和现有的洁净室装修时设施应予以明确和清洁，清洁施工的施工要求。
8，洁净室装修及施工过程中，应关闭，施工现场管理，其中包括获得清洁控制人员、 设备和材料，以避免其他工程与建筑的振动和噪声。
9，洁净室装修施工环境温度不应低于 5 摄氏度。应采取低温施工、 温度要求和施工作业绝缘措施。
10，当洁净室装修工程应保持现场清洁，隐蔽空间，应清洗干净的记录。
11，洁净室装修施工，已完成的表面装饰工程应受到保护，不应有影响跳动时，发生件造成的凹痕、 破坏和污染的表面装饰。
无尘车间内排水遵守有关规定，采取的措施主要有：
1.100级的洁净室（区）内不宜设置水斗和地漏，10，000级的洁净室（区）应避免安装水斗和地漏，在其它级别的洁净室（区）中应把水斗及地漏的数量减速少到低程度；
2.洁净室（区）内与下水管道连接的设备、清洁器具和排水设备的排出口以下部位设计成水弯或水封装置；
3.洁净室（区）内的地漏，要求材质内表面光洁不易腐蚀，不易结垢，有密封盖，开启方便，能防止废水、废气倒灌，必要时还应根据产品工艺要求，灌以消毒剂进行消毒灭菌，从而可以较好地防止污染；
4.生产中产生的酸碱清洗废水亦应设置管道，应采用耐腐蚀的不锈钢管道、PVC塑料管或ABS工程塑料管中引至酸、碱处理装置。
总之，洁净室（区）应尽量避免安装水斗和下水道，而无菌操作区则应避免。如确实需要安装，则应在工程设计时要充分考虑其安装位置并便于维护、清洗，使微生物的污染降低到小的程度。
无尘车间通道设计：
设计: 操作人员是各种污染物的携带者，所以人员在进入净化车间前要进行人身处理，使之达到净化要求，笔者认为一般是通过采用人员换鞋，更衣及风淋处理等措施达到净化要求后再进入洁净区，核心生产洁净室南侧支持区为非洁净区，与核心区联系紧密，设有生产办公室，洁净区的就设置在这边，操作人员人身净化程序如下：换鞋，二次更衣，穿洁净服，进入洁净前室，经过风淋室通道，进入净化车间。
物流设计: 货物搬入的净化处理也至关重要，通过设置闸间将洁净区和设备搬联系起来，闸间内设有空气吹淋设施。货物由北侧支持区设备搬搬入，拆包预装后，经过闸间吹淋后进入洁净区。洁净由于气流组织的需要，洁净区内地面设置了高架地板，高架地板的选型也是物流通道要考虑的因素，因此规划好物流搬入路线，使搬入通道上的地板承载力满足要求，也是不能忽视的。
气流设计: 气流组织在净化车间设计中占有重要地位，空气净化一般通过过滤空气，气流组织，空间静压等措施达到洁净室内环境的要求。一般采用初效，中效，过滤系统，上送下回垂直单项气流组织形式。顶棚上部为静压箱，气流由静压箱，通过过滤器加压过滤后进入洁净区，流经生产操作区域，再通过地面开孔架空地板进入下技术夹层，再通过侧墙的回风夹道回到空调器。
无尘车间设计方案注意事项：
1.净化车间设计内容有合理布置工艺流程和建筑平面；
2. 选择满足净化车间特点的建筑构造和材料；
3. 净化车间设计应依据当时当地的能源供应背景，选定可靠和经济的冷、热源；
4. 划分和布置空调净化和排风系统；
5. 选择合理的空气净化通风设备； 无论是新建还是重新改造的无尘车间，都一定依照国家相关标准、规范进行。
无尘车间振动控制：
1、无尘车间和周围性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净厂房的管道，应采取积极隔振措施。
2、无尘车间内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。
3、精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净厂房内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净厂房的空气洁净度等级。
无尘车间选址要求：
1、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域。
2、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
3、应布置在厂区内环境清洁、货流不穿越或少穿越的地段。
4、还有洁净厂房大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍，洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围应进行绿化，可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。
无尘车间建筑要求:
1、无尘车间的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。
2、无尘车间的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。
3、无尘车间主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调， 并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。
4、送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹 道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。
5、对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。
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