真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。
天花板、出风口、照明器具
靠近送风口附近的天花板和其他固定器具，在生产作业时不要清扫。送风口和天花板网格线要深入清洁。送风口的滤网可取下清洗或是更换。更换照明灯管前要先擦拭干净。
日常清扫无法涉及的表面，需要进行定期清扫。清扫中注意不要污染产品。大多数表面按周清扫，清扫时，产品要有覆盖保护并移出清扫区域。 洁净度没什么要求的表面，可以按月或是更长间隔时间清扫。虽然长时间才清扫一次，但是清扫流程安排表中也要有记录。无尘室内从上到下全体设施要有完全清扫的清扫流程安排表。完全清扫包含保管区域、服务区域、配管区及备用品类。完全清扫多在停止生产时，周末，假日或者其他没有生产的情况下进行。在连续生产有少有假期时，完全清扫是很困难的事情，因此，要在有限的假期内集中清扫。
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