在电子工业中,氩气(Ar)是一种常用的惰性气体,常用于惰性气体保护焊接、半导体制造过程中的清洗和沉积、以及显微镜和真空设备中的气体填充。氩气的纯度对于这些应用至关重要,因为任何杂质,包括氧气(O2),都会影响其性能和安全性。 氩气中氧含量的检测是为了确保它满足以 几点:
焊接应用 :焊接时,高纯度氩气能提供良好的保护层,防止焊接区氧化,确保焊缝质量。如果氧含量过高,可能会导致焊缝不纯或焊接不良。
2. 电子元件生产 :在半导体行业中,高纯氩气可以减少杂质引入,避免对器件性能的影响,尤其是在化学气相沉积(CVD)或离子注入等过程中。
3. 设备运行 :在真空环境中,氧气会加速材料的氧化,对设备的使用寿命造成威胁。 因此,电子工业用氩气通常需要进行严格的氧含量检测,确保其氧含量低于特定的阈值,例如少于百万分之几(ppm)或者更低,以符合行业标准和制造商的要求。如果检测结果显示氧含量超标,氩气就需要进一步处理或替换,以工艺的稳定性和产品质量。
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