真空泵连续使用3～4 个月以后，即应更换真空泵油。在湿度较大的环境下使用，这里是指被抽容器里的湿度，举例说，在外界湿度很大的情况下，经常暴露大气后恢复抽气，这时就说湿度比较大。如果在外界湿度比较大的情况下，机械泵一直抽一台一直保持真空的设备，那抽再长时间也不需要更换泵油。所以说在湿度比较大的情况下，应酌情缩短换油期。换下的油可经清洁去湿处理后再用。
换油方法如下：将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下，旋油塞和放油塞，放出污油,断续启动电机4～6 次，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200～300CC，断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样，经2～3 次重复清洗，放光清洗用油,旋上放油塞，从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗孔的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
真空泵油是:一种为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。
氧化稳定性：长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少有害漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。
防锈防腐蚀性：能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。
能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。
具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而有足够的极限真空。
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