EDS的工作原理是利用高能电子束轰击样品表面，激发原子内层电子并产生特征X射线，通过测量X射线的能量可以确定元素的种类和浓度。
SEM+EDS分析技术可以用于研究材料的微观结构和性能之间的关系，为材料的设计、制备和应用提供科学依据。
在SEM+EDS分析中，可以通过调整电子束的加速电压、束流强度等参数，优化成像效果和元素分析的准确性。
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