EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
SEM+EDS可以用于分析水体中的悬浮物、污染物等物质的微观结构和化学成分，研究其来源、扩散和生物毒性等。例如，对于水体中的重金属离子，可以通过SEM观察其形貌和分布情况，通过EDS分析其元素种类和含量，探究其对水生生物和人类健康的潜在影响。
SEM可以观察土壤中重金属、有机污染物的形貌和分布情况，而EDS可以分析这些物质的元素组成。这有助于了解土壤中污染物的赋存状态、形态和浓度，进而评估不同土壤修复技术的可行性和效果。
故障分析：对于飞机或其他航空器出现的故障，SEM+EDS可以用于分析故障原因。例如，当飞机出现腐蚀、疲劳或机械损伤等问题时，SEM可以观察到这些缺陷的微观形貌，而EDS可以分析缺陷部位的元素组成。这有助于确定故障的源头和原因。
SEM和EDS可以用于表征生物材料，如生物陶瓷、生物复合材料等。通过观察材料的表面形貌和结构，以及分析材料中的元素组成，可以了解材料的生物相容性和生物活性。
SEM可以用于观察化石和古生物标本的表面形貌和内部结构，如恐龙、猛犸象等。EDS可以用于分析古生物标本中的元素组成，有助于了解古生物的食性、生活环境和演化历程。
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