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扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)是一种高分辨率的电子显微镜技术,可用于对形貌和表面特征进行分析和观察。相比于传统的透射电镜,SEM不需要样本薄片,可以直接对样品进行观察,因此适用于分析各种形状和大小的样品。 SEM分析过程中,样品表面被电子束轰击后,会产生二次电子和背散射电子。这些电子会被探测器捕捉并转换为电信号,形成图像。SEM图像具有高分辨率和高对比度,可以显示出样品表面的微观结构和形貌特征
SEM+EDS测试原理:
SEM:利用阴极所发射的电子束经阳极加速,由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流,这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息,经过分别收集,放大就能从显示屏上得到各种相应的图像
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