尘室设计时，要注意尽量避免可能发生的污染。设备日常运作、保养、生产过程，人员活动及其他要素是无尘室内污染并扩散的原因。因此，希望在不影响产品和生产进度的前提下，对污染进行充分的清洁。清洁程序按照不影响生产要求的洁净度前提下，制定整体的清洁方案。清洁好避开生产作业时。如果无法避开，要把影响降到低并对制定特定的清洁程序。
更衣室和风淋室的接触面
更衣室和风淋室是人流量大的地方，所以容易受到污染。要将污染限度降到低，以免污染到无尘室内环境，就需要对这些区域进行频繁的清扫。
墙壁、门、送风口、窗、侧面
在单一方向气流的无尘室内，产品生产作业时不要清扫送风口附近区域，要在停止作业时或产品移出该区域后，再或者将产品覆盖保护之后再进行清扫。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清扫的清洁方式。具体方法根据洁净度要求而定。非单一方向气流的无尘室内，好在没有生产作业时再进行清洁。
桌子、其他重要的水平接触面
桌子、其他重要的水平接触面按照以上介绍的清扫方法选择合适的方式进行。使用药液从区域向一般区域方向擦拭，除去脏污。
椅子、家具
擦拭按从上到下的顺序进行。垫子、支架及车轮也在清扫的范围之内。
日常清扫是为了防止异物污染到重要区域，按照合适的频率实行的所有相关的作业。无尘室清扫根据洁净程度评估，按照一日数次，一日一次或是数日一次的频率进行。更衣室、搬入区、大厅等的公共区域去除废弃物采取的真空除尘器，地面水拖拭，其他表面擦拭等是可以在生产作业时间内进行的。无尘室各个房间，按照产品和制造工程的重要度，对清扫流程进行的规定并文件化。更衣室和活动区域至少要一天一次清扫，因为这些区域都是人员活动密集区，异物聚集程度很高。因此，为了确保洁净度，防止异物转移污染，这些区域要比无尘室内一般区域清扫频度高，像无尘室区域一样频繁的清扫。
日常清扫无法涉及的表面，需要进行定期清扫。清扫中注意不要污染产品。大多数表面按周清扫，清扫时，产品要有覆盖保护并移出清扫区域。 洁净度没什么要求的表面，可以按月或是更长间隔时间清扫。虽然长时间才清扫一次，但是清扫流程安排表中也要有记录。无尘室内从上到下全体设施要有完全清扫的清扫流程安排表。完全清扫包含保管区域、服务区域、配管区及备用品类。完全清扫多在停止生产时，周末，假日或者其他没有生产的情况下进行。在连续生产有少有假期时，完全清扫是很困难的事情，因此，要在有限的假期内集中清扫。
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