广电计量提供覆盖被动元件、分立器件和集成电路在内的元器件破坏性物理分析(DPA)服务,其中针对半导体⼯艺,具备覆盖7nm以下芯片DPA分析能⼒,将问题锁定在具体芯片层或者μm范围内,针对有水汽控制要求的宇航级空封器件,提供PPM级内部水汽成分分析,空封元器件特殊使用要求。
对于DPA中暴露的问题,只要元器件承制厂所与DPA实验室紧密结合,进行分析与跟踪,准确找出导致缺陷产生的原因,采取有针对性的整改措施,则大多数缺陷模式是可以得到控制或消除的。
破坏性物理分析(DPA)技术不但适用于J用电子元器件,而且也同样适用于民用电子元器件,如采购检验、进货验货及生产过程中的质量监测等均可应用DPA技术。
广电计量破坏性物理分析(DPA)测试能够为J品及民品企业提供一站式服务,报告可靠。
何时需开展DPA?
1、进货前检证: 供应商提供DPA合格报告
2、来料筛选验证: 装机前进行DPA验证,进行内部缺陷检查、可靠性评估及功能测试等质量复验
3、超期复检:对贮存期超过有效贮存期的元器件,在装机前应进行DPA复检
广电计量破坏物理性分析(DPA测试)为企业提供确认元器件的设计及制造过程中的偏差和工艺缺陷;提出针对元器件缺陷的处理意见、建议及有效的改进方案;预防因元器件存在的质量问题而导致装机时产生的整体失效。
广电计量集成电路失效分析实验室,配备了完善的DPA分析测试设备(如3D解析显微镜、X射线透射仪、超声扫描显微镜、场发射扫描电子显微镜、TEM透射电子显微镜、水汽分析仪、各类检漏仪等),具备非破坏性和破坏性测试的DPA分析能力。
DPA分析是对潜在缺陷确认和潜在危害性分析的过程,一般是在在元器件经过检验、筛选和质量一致性检验后对元器件内部存在的缺陷进行分析,这些缺陷可能会导致样品的失效或不稳定。与其他分析技术不同的是,DPA分析是对元器件进行的事前预计(而失效分析FA是事后检查)。在元器件生产过程中以及生产后到上机前,广电计量DPA分析技术都可以被广泛地使用,以检验元器件是否存在潜在的材料、工艺等方面的缺陷。
广电计量DPA测试以预防失效为目的,防止有明显或潜在缺陷的元器件上机使用;确定元器件在设计和制造过程中存在的偏差和工艺缺陷;评价和验证供货方元器件的质量;提出批次处理意见和改进措施。
DPA分析技术可以快速发现潜在的材料、工艺等方面的缺陷,这些缺陷终导致元器件失效的时间是不确定的,多数为早期失效,但所引发的后果是严重的。
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