2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备,它利用 2.45 GHz(千兆赫)的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。
电子器件制造:ECR等离子体源在半导体工业中,微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧,可以多个等离子体源组成等离子墙,或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
Sairem公司是法国一家专注于提供微波源、微波等离子体源的公司,它的微波源被广泛应用于PECVD法制造生长金刚石设备中,等离子体源用于清洗、喷溅、蚀刻等设备中。
Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物,例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质,提高处理效率,并减少对环境的影响
SAIREM微波等离子体源可以用于药材提纯的过程。微波加热可以提高药材的温度并加速化学反应,从而实现药材的快速提纯。SAIREM微波源具有稳定的性能和高功率输出,可确保药材提纯过程的性和可靠性。通过调节微波功率和加热时间,可以控制药材提纯的过程,使其达到理想的纯度要求。这使得SAIREM微波源在药材提纯领域具有广泛的应用前景。
微波等离子体源是一种通过微波能量激发气体分子来产生等离子体的装置。它通常由微波发生器、谐振腔和等离子体室组成。微波发生器会产生一定频率和功率的微波能量,然后将微波能量通过谐振腔传递到等离子体室中的气体分子上。气体分子会被激发并产生等离子体,这种等离子体可以用于各种应用,如材料表面处理、离子束刻蚀等。微波等离子体源在科学研究和工业生产中都有广泛的应用。
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