EDS可以提供元素的定性分析和定量分析，能够准确地检测材料表面的元素种类和含量。通过分析元素分布情况，可以识别化学腐蚀、应力腐蚀开裂等化学或物理作用导致的失效，进一步确定失效机制。
同时，SEM+EDS还可以实现多元素同时分析，提高分析效率和精度。通过结合形貌观察和元素分析的结果，可以更准确地判断材料的失效原因和失效模式。
SEM+EDS可以用于分析水体中的悬浮物、污染物等物质的微观结构和化学成分，研究其来源、扩散和生物毒性等。例如，对于水体中的重金属离子，可以通过SEM观察其形貌和分布情况，通过EDS分析其元素种类和含量，探究其对水生生物和人类健康的潜在影响。
SEM可以观察土壤中重金属、有机污染物的形貌和分布情况，而EDS可以分析这些物质的元素组成。这有助于了解土壤中污染物的赋存状态、形态和浓度，进而评估不同土壤修复技术的可行性和效果。
SEM可以观察环境修复前后的物质微观结构和元素分布情况，而EDS可以分析这些物质的元素组成。这有助于评估环境修复技术的实际效果和对环境的长期影响，为环境修复技术的推广和应用提供科学依据。
失效分析：在航空航天领域，失效分析是非常重要的工作。SEM+EDS可以用于失效模式的识别和分析。例如，对于飞机涂层的剥落和掉漆问题，SEM可以观察到涂层表面的形貌和结构，而EDS可以分析涂层中的元素组成。这有助于确定涂层失效的原因和解决方案。
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