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由于 该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，整个炉内的 一氧化硅与的混合气体(包括坩埚支持器14下方的混合气体)能通畅 地排出炉外，整个炉内不存在排气死角，既有效地防止了一氧化硅气体对 加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀，还可有效防止杂质粉尘吸附 在这些石墨器件上，从而确保了该炉的使用寿命。气流导向装置20的一对 通气孔2-3与该炉的一对排气口 13相对设置，缩短了排气管路的长度，利 于提高排气效率。
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真空技术在冶金、化工、轻工、食品、医药等领域得到了十分广泛的应用，然而在这些领域大都存在尘埃对真空系统的危害问题。为保护真空系统或真空泵不受粉尘和固体颗粒污染和损坏，管路中需配置真空除尘器和真空过滤器。它们可保护真空阀门不被阻塞，避免阀板关闭不严造成漏气，保护测量压力的真空规管不受污损，防止泵受损而工作失常等，对真空设备的净化和平稳、持续工作均很重要。除尘机理及过程从气体中捕集分离粒子的除尘机理，主要有以下几个方面:、重力气流中的尘粒可以依靠重力自然沉降，从气流中进行分离。由于尘粒的沉降速度一般较小，这个机理只适用于粗大的尘粒、离心力利用机械力来捕集分离含尘气流中的粉尘，离心力除尘装置是其中有效的除尘装置。它对粒径较小尘粒的分离捕集非常有效。含尘气流作圆周运动时，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中,传统装料方法为炉前装料,即,以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉、真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内,装料时间(清炉结束到合炉)约为2h,操作起来较繁琐。此外,装料工工作量不饱和,存在人力浪费现象;在车间内部装料过程中涉及环节较多,硅料的洁净度存在质量隐患,不能确保硅棒的产品质量[2]。随着光伏市场竞争的日趋激烈,追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。
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