无尘车间空气净化处理：
各等级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、空气过滤器过滤。注1：100，000级空气净化处理，可采用亚空气过滤器代空气过滤器。 确定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大时，位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室，宜采用集中式净化空气调节系统。
净化空气调节系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其他工序有危害时，则不应用回风。净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。
无尘车间清洁要求：
（1）清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；
（2）用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂；
（3）使用已获批准的洁净室去污剂；
（4）每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。
（5）每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。
（6）清洁洁净室的地面应使用拖把。
（7）在洁净室里吸尘应使用带有过滤器的真空吸尘器。
（8）所有的门都需要检查并擦干
（9）吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。
（10）架空地板下也要吸尘及擦拭。
（11）三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。
（12）工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。
无尘车间的流动状态分型：
根据气流的流动状态分，主要有以下三种气流分布的洁净室 ：
（1） 非单向流洁净室：以前常称为乱流型洁净室，室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点：终端过滤器（或亚）尽量接近洁净室，它可以就是送风口或直接连送风口，也可以接到房间的送风静压箱上；回风口均设在洁净室的下部，目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在，不适宜用于高洁净度的洁净室中，宜用于6~9级的洁净室中。
（2） 单向流洁净室：单向流洁净室气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向洁净室，准垂直单向流，水平单向流洁净室等。
（3） 矢量洁净室：在房间的侧上角送风，采用扇形过滤器，也可以用普通过滤器配扇形送风口，在另一侧的下部设回风口，房间的高长比一般在0.5~1之间为宜。这种洁净室也可以达到5级（100级）洁净度。
无尘车间设计规划：
1.选址原则：净化车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省投资和经营费用的原则。厂址应设在自然环境和水质较好,大气含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有毒害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年主导风向的上风侧面,且有一定的防护距离。净化车间与交通主干道间距宜50米以上。
2.动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中；净化车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。
3.有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用：固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序；生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料
4.节能原则：净化车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
无尘车间的构成：
一般情况下，洁净室（区）是指器械生产和检验所需的工作环境，对于生产环节，应包括与生产产品工艺流程相对应的功能间，如注塑间、干燥间等；对于检验环节，应包括与检验有关的功能间，如阳性对照间、无菌检验间和微生物限度间等；为生产服务的功能间，如洗衣间、洁具间等以及连接各功能间的缓冲过渡通道。
洁净室（区）的气流组织形式是实现洁净环境的重要措施。一般气流组织形式有非层流方式或层流方式两种。用高度净化的空气把车间内产生的粉尘稀释，叫做非层流方式（乱流方式）。用高度净化的气流作为载体，把粉尘排出，叫做层流方式。层流方式有垂直层流和水平层流两种。从房顶方向吹入清洁空气通过地平面排出叫垂直层流式，从侧壁方向刮入清洁空气，从对面侧壁排出叫水平层流式。乱流方式由于换气次数的变化洁净度也随之变化。
洁净室（区）的气流应满足洁净度和人体健康的要求，如关键工作操作点应位于洁净空气流的上风侧，对散发有害物质的工作点，人的头部应避免在其空气流正对的下风侧。应使洁净室（区）气流流向单一。非单向流洁净室（区）内设置操作台时，其位置应远离回风口。产品也不应摆放在回风口附近，因为回风口处的洁净度比较差。回风口应均匀布置在洁净室（区）的下部，高度应低于工作台面。洁净室（区）内有局部排风装置时，其位置应设在工作室气流的下风侧，以免气流短路。
净化车间的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
无尘车间系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
无尘车间通道设计：
设计: 操作人员是各种污染物的携带者，所以人员在进入净化车间前要进行人身处理，使之达到净化要求，笔者认为一般是通过采用人员换鞋，更衣及风淋处理等措施达到净化要求后再进入洁净区，核心生产洁净室南侧支持区为非洁净区，与核心区联系紧密，设有生产办公室，洁净区的就设置在这边，操作人员人身净化程序如下：换鞋，二次更衣，穿洁净服，进入洁净前室，经过风淋室通道，进入净化车间。
物流设计: 货物搬入的净化处理也至关重要，通过设置闸间将洁净区和设备搬联系起来，闸间内设有空气吹淋设施。货物由北侧支持区设备搬搬入，拆包预装后，经过闸间吹淋后进入洁净区。洁净由于气流组织的需要，洁净区内地面设置了高架地板，高架地板的选型也是物流通道要考虑的因素，因此规划好物流搬入路线，使搬入通道上的地板承载力满足要求，也是不能忽视的。
气流设计: 气流组织在净化车间设计中占有重要地位，空气净化一般通过过滤空气，气流组织，空间静压等措施达到洁净室内环境的要求。一般采用初效，中效，过滤系统，上送下回垂直单项气流组织形式。顶棚上部为静压箱，气流由静压箱，通过过滤器加压过滤后进入洁净区，流经生产操作区域，再通过地面开孔架空地板进入下技术夹层，再通过侧墙的回风夹道回到空调器。
无尘车间结构材料：
1.电子厂净化车间墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门，窗采用铝合金玻璃固定窗。2.地面采用环氧自流平或耐磨塑料洁净地板。
3.净化通风管道选用镀锌薄钢板制作，并采用“橡塑”阻燃型的保温板做保温。
4.地面可采用高架地板、环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防静电要求的，可选用防静电型。
5.送风口用不锈钢框架，美观清洁，冲孔网板用烤漆铝板，不生锈不粘尘，宜清洁。
净化车间技术要求：
1.电子净化车间万级洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(A)
2.电子净化车间垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
3.电子净化车间与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
4. 电子净化车间万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的大值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和； 供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
5.电子净化车间净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项大值：电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量，根据热，湿负荷计算确定洁净室的送风量，向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量：
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