将真空泵与光谱室和样品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在几秒钟内抽到规定值，可以排除真空泵出现故障的可能性。如果能抽到规定值但时间较长，可能是真空泵的效率降低，这种情况一般发生在经常分析压片样品和油品的仪器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改变了油的粘度，这时需更换真空泵油。
X射线荧光光谱分析通常在真空光路条件下工作，但光谱室和样品室有很多部位与外部相连，可能漏气的部位很多。检查真空故障时，将可能出问题的地方人为分隔为三部分：真空泵、样品室、光谱室，对这三部分逐一检查以缩小范围。样品室常见的漏气部位是样品自转装置上的密封圈，样品测量时通常以0.5转/秒的速度自转，仪器几年运行下来，样品自转处的密封圈磨损，密封效果变差。
由于待测物质体积的限制相应的采样方法要更加灵活且更加可靠，而我国广受好评的光谱仪其本身的使用方法会受到这种探测装置知识能力的影响，由于其本身的光纤信号和相应的传输作用有着显着的差异，后续的智能处理和功效形成也会产生的不同，因此在日常的使用之中更需要采购的装置，利用光谱仪更好的功能优势实现可靠的传导和探测。
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