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其中,直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期、提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封,
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本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) ) 分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，浮力提拉单晶炉提拉机构特性分析\一、引言 浮力提拉单晶炉(简称FTD)是利用浮力原理设计成的提拉式单晶炉帕,十多年来,用它先后生长成功了多种晶体〔2一5〕。这种炉子容易制造,成本低,易于推广,目前国内已有几个厂家使用它生产泥酸铿单晶。作为一种发明,FTD也受到肯定和重视。可是,FTD在问世以后,却没有进行深入探讨。虽然FTD的设计有过几次变化,但由于没有掌握设计的则,致使FTD存在不同程度的提拉不均匀现象,严重地影响了它的推广普及。为了改善它的提拉特性,我们研究了FTD浮力提拉原理,对多台FTD作了分析对比,由此找出了提拉不均匀性产生的根源;明确了FTD提拉机构的设计要领。希望这-一卜作能够推动FTD的发展.并有助于单晶的生长研究和生产。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的产生习C^l 奋幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}
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