扫描电镜测试的结果可以以图像和数据的形式输出,方便进行分析和评估。通过对图像的分析和处理,可以得到更多有关材料表面的信息,从而更好地了解其性能和使用情况。
通过表面处理(例如沉积出不同组成,形态及厚度的膜层以及光刻蚀表面等等)可以有效地提高材料硬度和光学物理性能。通过扫描电镜可以对镀膜表面形貌,断口膜层形貌进行观察,并对膜厚进行测量;可以观察到光刻蚀之后试样表面形貌变化情况等等。
扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。
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